电致变色薄膜及器件具有节约能源的效益,能有效降低全球日益加剧的能源危机问题,如今备受研究者的关注。在本文的研究中,采用直流反应磁控溅射法在ITO玻璃上溅射了不同氧分压的WO₃薄膜并对WO₃薄膜进行了详细的电致变色分析测试。同时本文在WO₃薄膜的基础上溅射了不同氧分压及不同压强系列的Ta O_x薄膜,分析了不同制备条件下的Ta O_x薄膜对WO₃薄膜的影响,并制备了含有Ta O_x薄膜的全固态电致变色器件（ECD2）与不含Ta O_x薄膜的全固态电致变色器件（ECD1）,并作出了相应的对比分析。最后,本文自行制备Ta O_x:H电解质层,分析了不同制备条件下的Ta O_x:H电解质层对全固态电致变色器件的影响。研究结果表明:1)在30%的氧分压条件下得到电致变色综合性能较优的WO₃薄膜,其中光调制幅度达到90%以上,着色/褪色响应时间均为10 s,着色效率为26.37 cm²/C。2)在制备条件为15%的氧分压以及1.3Pa环境下制备的Ta O_x薄膜对WO₃薄膜电致变色性能提升的效果较好,其中薄膜的着色响应时间仅为18 s,循环稳定性较为优越,并且着色效率稳定在33 cm²/C。3)ECD1与ECD2的着色响应时间均为6 s,并且ECD2的着色效率稳定在135cm²/C的范围,瞬时电流也比ECD1要小。在光谱的动力学测试中,ECD2循环稳定性着色态的着色程度几乎无任何波动显示出极好的循环稳定性。4)在Ta Ox:H层制备氢分压与制备压强分别为20%与2 Pa时的器件拥有较优越的电致变色性能,其中器件的着色/褪色响应时间仅为5 s/3 s,着色效率为129.51cm2/C,光调制幅度为77%。