四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段,已经有几十年的历史。它不仅包括丰富的理论,而且已经在半导体生产工艺中获得了广泛应用。当今,集成电路制造技术飞速发展,对半导体晶片微区各种性能的要求日益提高。四探针技术也同时面临着新的挑战。鉴于这种形势,我们自行开发了一台独具特色的四探针测试仪,它不仅使用了PC机和单片机自动控制技术来完成测量过程,还结合了图象识别技术进行探针的精确定位。在这篇论文中,本人重点阐述了自己的工作,并对我们的测试仪做了全面介绍。首先,在绪论中概括介绍了四探针技术背景、测试仪总体概况和本论文的主要研究内容。然后,对四探针测量理论进行了简要论述,包括各种四探针法测量公式的归纳和一些相关理论的总结,并且着重强调了应用到方形四探针的改进的Rymaszewski测量法。接着,分别从下位单片机的电路设计、上位PC机的操作软件设计和图象识别探针定位技术等几个方面,系统全面地介绍了我们这台测试仪的技术内涵。其中在下位单片机电路中,重点介绍了恒流源的设计过程,它是下位机电路的关键组成部分,也是我们经过大量电路调试和样品测量实验得出的开发成果。在本文最后,对测试仪的使用方法及注意事项、数据处理和主要性能进行了总结。