近十几年来，光催化氧化应用于环境污染物的治理己经成为环境科学研究的热点。半导体二氧化钛(TiO2)作为一种性能优异的光催化材料，可将许多化学法、生物法无法降解的有机物完全降解为CO2、H2O及相应无机酸，且成本低廉，不会造成二次污染，使其在废水处理、空气净化、杀菌、自清洁和太阳能转化等方面有着十分诱人的应用前景。由于TiO2的光激励条件比较苛刻，使得TiO2薄膜的应用受到一定限制，研究发现金属离子掺杂对TiO2光催化性能有一定的改善。 液相沉积法(LPD)是近年来发展起来的一种新型制膜方法。用此法只需在适当的反应液中浸入基片，在基片上便会沉积出均匀致密的氧化物或氢氧化物薄膜，成膜过程不需昂贵设备，操作简便，而且液相沉积法容易实现金属离子的掺杂。 在本研究工作中，以氟钛酸铵((NH4)2TiF6)、硼酸(H3BO3)、硝酸铁(Fe(NO3)3)、氨水(NH3·H2O)和氢氟酸(HF)为主要原料，用液相沉积法在普通载玻片上制备了TiO2及其掺铁薄膜，同时研究了低温制备TiO2薄膜的新方法－微波辐照液相沉积法。采用X射线衍射(XRD)、紫外可见光谱(UV-Vis)、扫描电子显微镜(SEM)等测试手段，对薄膜进行了表征。 研究发现，影响成膜的主要因素是基片表面清洁度、反应液温度、反应物浓度以及反应液的pH值。在室温下成膜的最佳条件是氟钛酸铵浓度为0.1mol/L，硼酸浓度为0.2mol/L。 微波辐照液相沉积法制备TiO2薄膜的研究发现，本方法能制备出均匀、透明的锐钛矿型TiO2薄膜，所得薄膜有一定的结晶取向；薄膜具有特殊表面形貌，有效增大了TiO2薄膜的比表面积；薄膜具有良好的可见光透过率。对沉积所得TiO2粉体的研究发现，随着辐照时间的增大，TiO2粉体的晶化(锐钛矿)程度明显提高，在微波辐照20分钟后，已经完全晶化。 液相沉积法能够制备出表面形貌良好的掺铁TiO2薄膜，铁离子(Fe3+)的引入降低了TiO2的晶化(锐钛矿)温度，同一热处理条件下所得复合薄膜的晶化程度高于TiO2薄膜；同时铁离子的引入抑制了TiO2颗粒的生长，降低了TiO2的平均粒径，提高了薄膜的折射率，使薄膜在可见光区的吸收增强；由于铁离子对可见光敏感，加上铁离子引入后使TiO2结构和表面形态变化，导致薄膜的紫外吸收峰红移，随着掺铁量的增大，红移效果加大；掺铁TiO2薄膜的亲水性能测试发现，铁离子的引入能有效改善TiO2薄膜的亲水性能，随铁离子的引入量增大，所得薄膜的亲水性能呈现“U”型变化，掺铁量为0.5％(摩尔比)时，薄膜的亲水性能最佳。