等离子体浸没注入是近年来兴起的一种新型的材料改性手段。相比于传统的束线离子注入技术,等离子体浸没注入克服了视线效应的限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与集成电路工艺相兼容的特点,在金属材料、高分子材料、陶瓷材料等的改性方面具有广泛的应用前景。我们主要参与了等离子体浸没注入设备部分的搭建工作和后期的调试、故障的处理方面,且对若干种材料进行了等离子体浸没注入的改性工作,并分析表征了注入前后样品各种性质发生的改变。另外,使用相关软件进行了一些模拟工作。使用等离子体浸没注入设备对AISI 316不锈钢进行了注N的工作,并分析了注N前后316不锈钢在抗点蚀性能上发生的变化,探讨了点蚀电位提高的原因,并提出了一种新的说法。使用等离子体浸没注入设备对AISI 304不锈钢进行了注N的工作,分析了注入后的样品与注入前相比,在抗点蚀性能上的变化。并且利用XRD、XPS、SIMS等各种表征手段对变化的原因进行了分析。使用等离子体浸没注入设备对金属Ti片进行了注N处理,并且进一步将其氧化为TiO₂薄膜。通过对TiO₂薄膜的表征,发现注N处理以后的薄膜在光电流比未注入样品更大,纳米多孔结构的TiO₂比平整的TiO₂光电流更大。文章中进一步分析了这两种现象的机理。