涡旋真空干泵用开关磁阻电动机研究与转矩脉动抑制分析

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在工业生产中,尤其是半导体元器件、电子芯片、大规模集成电路等生产线对清洁度有极高的要求,真空泵是清洁真空设备的核心部件。涡旋真空干泵是一种结构简单的机械泵,具有无油直排介质的作用,并且它具有效率高,运行过程平稳,故障率低等优点。由于涡旋真空干泵用驱动电机转子运行在高度真空的状态,所以转子散热困难。SRM的转子是由硅钢片叠加冲压而成,没有永磁体,也没有励磁绕组,所以就没有与之相关的损耗,还有就是开关磁阻电机转子铁耗较低,由此产生的热量相对来说就很少,所以SRM内部腔体部件冷却速度快,非常适合作为涡旋真空干泵的驱动电机。首先,介绍了涡旋真空干泵和开关磁阻电机的基本组成结构、工作原理和特点,利用开关磁阻电机基本方程和线性模型分析了开关磁阻电机的运行特点。其次,根据涡旋真空干泵的工作指标,对开关磁阻电机进行电磁设计,设计了一台1.5k W的三相12/8极开关磁阻电机,使用ANSYS Maxwell软件进行建模与运行特性分析,然后分别对涡旋真空干泵用开关磁阻电机和异步电机的温度场进行了仿真分析,证明了涡旋真空干泵用开关磁阻电机在降低转子温度方面的优势。最后,以初始开关磁阻电机模型为基础,选用了三种方案来对开关磁阻电机转矩脉动的影响进行比较分析。1、采用转子斜极的方式。2、采用定子槽口之间加入磁性槽楔的方式。3、采用改变定转子极弧系数等参数进行综合分析的方式。经过仿真分析后采用遗传算法优化、在转子齿削角、转子齿两侧开矩形槽和定转子非均匀气隙相结合的方案来进一步降低转矩脉动。研究了遗传算法优化、削角跨度、转子齿两侧矩形槽槽宽、槽深、齿顶高度和定子齿极偏心距离对开关磁阻电机转矩脉动的影响。通过有限元仿真获得算例电机的择优设计方案,应用转子齿削角和两侧开矩形槽与定、转子非均匀气隙相结合的开关磁阻电机相较于多参数优化后的开关磁阻电机,在平均转矩基本不变的情况下,转矩脉动系数进一步减小。
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