【摘 要】
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该文主要是研究点衍射干涉仪的干涉图像处理技术.我们用点衍射干涉仪构成了一个测量被检光学系统波像差的实验光路,将干涉图用CCD采集并输入计算机,然后进行干涉图像的处理,
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该文主要是研究点衍射干涉仪的干涉图像处理技术.我们用点衍射干涉仪构成了一个测量被检光学系统波像差的实验光路,将干涉图用CCD采集并输入计算机,然后进行干涉图像的处理,计算出被检波像差(被检波前),并将所测的波像差与数字波面干涉仪所测的波像差进行了对比,分析了实验和算法误差.最后提出了PDI的改进结构,液晶移相点衍射干涉仪.图像处理的程度语言采用MATLAB5.3.其基本步骤是:将采集的干涉图进行图像特征信息提取,即确定干涉条纹的中心位置坐标和干涉级次;对这些点的数据进行了Zernike多项式拟合,得出波面的形状.
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