白光干涉原子力显微镜若干关键技术及软件系统研究

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【摘要】

：

随着先进制造技术的发展,越来越多的制件表面形貌朝纳米尺度和精度发展,如光学表面、光刻表面、信息存储表面等等。保证和提升这些表面质量,需要纳米分辨率的表面形貌和结构测量仪器。白光干涉原子力显微镜(White Light Interference based Atomic Force Microscope,以下简称WLIAFM)充分利用了原子力显微镜的高横向分辨率和垂直方向灵敏性,及光学干涉高的位移测

【作者】

：

庾能国

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2016年05期

【关键词】

：

白光干涉原子力显微镜零级条纹提取探针标定软件系统

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