在升级冶金级硅衬底上用ECR-PECVD沉积多晶硅薄膜

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尽管目前光伏电池市场85%以上仍被体硅太阳能电池所占据,并且其组件也正在变得更便宜以及更高效,然而价格因素仍然是其发展的重要障碍,而一半以上的价格又源于其基片。基片的制备既耗材料又耗能源,降价空间很小,又由于当前能源紧缺的状态,这一问题将会被放大。薄膜电池技术由于耗材料较少,相应的耗能也少,同时由于可以大面积沉积等,薄膜电池有望在不久的将来逐步取代体硅电池而转移到工业生产中。2004年,欧盟5个晶体硅薄膜研究开发项目组提出了一项规划,该规划认为“外延组件等价物”是最接近于工业实际的晶
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