采用表面加工工艺制作的MEMS分立式微变形镜具有集成度高、可实现批量生产等优点，成为MEMS微变形镜的研究热点。然而基于表面加工工艺的微变形镜工艺过程中的粘附问题将成为影响变形镜性能和可靠性的重要因素之一，因此，如何有效控制MEMS微变形镜加工中的粘附问题成为微变形镜制造中的一大难点。 首先，本文对粘附现象的产生根源、测试技术以及控制技术等几个方面进行了系统的分析和研究。结果发现，由于MEMS微变形镜上极板的面积比较大，在工艺最后清洗的过程中，由于表面张力的作用，上极板极易与下极板接触，干燥以后，如果弹性回复力不能克服各种表面应力，MEMS微变形镜将发生释放粘附。 其次，对牺牲层释放方法进行了详细的研究，并作了大量的实验工作。分别采用蒸发释放法、升华释放法等对MEMS微悬臂梁进行释放，通过测试发现，当采用蒸发释放法时，微悬臂梁的最大分离长度为140微米，而当采用升华释放法对微测试结构进行释放时，微悬臂梁的最大分离长度为650微米，同时发现，微悬臂梁的宽度对粘附也有一定的影响，在一定范围内，悬臂梁越窄，其更易发生粘附。 再次，研究了表面粗糙法以及自组装分子膜涂层在MEMS微结构防粘附中的应用。并对典型的FDTS和OTS分子膜进行了详细的讨论，研究表明，自组装分子膜不仅能有效防止释放粘附，更能防止工作粘附。 最后，针对分立式MEMS微变形镜研究了相关的测试理论工作，它为加工过程提供了定性或定量评价，是保证加工质量、研究加工规律和提高微细加工水平的基础，为将来的测试提供重要的理论依据。同时，提出了对分立式微变形镜在加工过程中的典型难点，并对采用PSG作为牺牲层、释放方法的改进以及多晶硅残余应力的控制提出了改进的建议。