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本文根据椭圆偏振光谱测量技术研究对象的具体情况，针对衬底材料、单层膜、多层膜结构建立了相应的物理模型，编制了椭偏测量的最优化计算软件，获得了衬底材料、单层膜及多层膜复杂结构的椭偏参数和所研究膜的光学参数之间相互关系的最优化计算结果。首次运用椭圆偏振技术对电子绝缘材料及其复合材料的光学性能进行了测量与研究，并研究了添加剂种类及含量对复合材料光学参数的影响。研究结果发现，在硅橡胶中加入不同的添加剂对其光学性能有不同的影响，在硅橡胶中加入CaCO3使材料n值下降，ε实部下降；加入TiO2则使材料的n值上升，ε实部也上升；而CaCO3添加量增加时，复合材料的n下降越大，ε实部下降也越大。论文针对试样的情况，运用有效介质理论圆满解释了试验结果。