【摘 要】
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本文主要探讨一种在微电子机械系统中常见的流动系统:库埃特流(Couette Flow).以氩气作为流动介质,从N-S方程、傅立叶导热定律、理想气体状态方程出发;考虑气体稀薄效应,引入
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本文主要探讨一种在微电子机械系统中常见的流动系统:库埃特流(Couette Flow).以氩气作为流动介质,从N-S方程、傅立叶导热定律、理想气体状态方程出发;考虑气体稀薄效应,引入广义平均自由程、广义动力粘度、广义导热系数,并引入相应的边界条件建立起相应的数学模型.所建理论模型能用来计算滑移和过渡流动区的稀薄气体流动.采用广义微分积分方法(GDQ)用Fortran语言编写程序,上机求得其数值解.GDQ方法的程序比较简单,计算成本低.最后用蒙特卡洛直接模拟方法(DSMC)来验证其有效性.并将两者的数值结果以图形的方式输出,对不同马赫数,不同努森数下的速度、温度、压力分布曲线给予分析.
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