【摘 要】
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首先简单讨论了热光效应和Y分支型热光光开关的工作原理,并从理论上分析了平面薄膜波导的结构以及影响薄膜波导散射损耗和附着性能的因素,总结了用于热光光开关的薄膜波导在
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首先简单讨论了热光效应和Y分支型热光光开关的工作原理,并从理论上分析了平面薄膜波导的结构以及影响薄膜波导散射损耗和附着性能的因素,总结了用于热光光开关的薄膜波导在成膜方面的要求.其次从成膜材料入手,选择具有优良综合性能的聚酚亚胺作为波导材料,介绍了聚酰亚胺的合成原理及提高聚酰亚胺在通信波长下光学透明性的途径,并合成了具有热稳定性的氟化聚酰亚胺和热交联的聚酰亚胺.接着,着重描述了利用旋涂法制备聚合物薄膜的物理基础、具体的工艺流程、并利用多种聚合物实际研究高性能聚合物薄膜(薄膜波导)的制备.最后结合实验结果,讨论旋涂法成膜可能存在的缺陷以及避免缺陷产生的方法,并通过采用METRICON2010棱镜耦合薄膜测试系统和剥离法,分别对薄膜折射率、厚度、损耗、附着性进行了定量或者定性的测试.根据测试结果,总结了备工艺参数对聚合物薄膜波导光学性能及机械性能的影响.由于成膜特性直接影响到光波导器件的性能,该课题的研究具有重要的实用价值.
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