【摘 要】
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该论文运用光谱方法和表面分析方法对化学气相沉积的金刚石膜进行了研究,主要包括以下几方面内容:一、用喇曼光谱研究本征金刚石膜中晶界对喇曼光谱的影响及氩气对金刚石沉积
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该论文运用光谱方法和表面分析方法对化学气相沉积的金刚石膜进行了研究,主要包括以下几方面内容:一、用喇曼光谱研究本征金刚石膜中晶界对喇曼光谱的影响及氩气对金刚石沉积的影响.晶界在金刚石膜中引入应力.二、用显微喇曼光谱研究硼掺杂金刚石膜,结果表明存在与晶体生度面相关的硼分布不均匀特性.对声子喇曼散射与电子喇曼散射间的Fano-型量子干涉及硼掺杂诱导的晶格对称破缺导致的声子喇曼散射进行了系统地分析研究 得到了硼杂质带的电子喇曼散射,首次观察到与晶相关的低频喇曼峰.三、金刚石膜的光致荧光研究.首次观察到了空位集团导致的光致荧光,对硅空位复合光致荧光及硼对各种荧光峰的影响进行了研究.四、用紫外光电子能谱和高分辨电子能量损失谱研究了表面氢原子对电亲合势与金刚石场致电子发射特性的影响.表面氢吸附条件下金刚石膜的电子亲合热降低,场致电子发射特性优于无氢吸附的表面.
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