【摘 要】
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该文在器件结构上突破目前的单层薄膜结构,采用溶胶-凝胶法,成功制备了ZnO、TiO、FeO等金属氧化物所构成的二维多层气敏光学薄膜,薄膜的几何厚度为10nm量级,薄膜表面粗糙、空
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该文在器件结构上突破目前的单层薄膜结构,采用溶胶-凝胶法,成功制备了ZnO、TiO<,2>、Fe<,2>O<,3>等金属氧化物所构成的二维多层气敏光学薄膜,薄膜的几何厚度为10<2>nm量级,薄膜表面粗糙、空隙率较高,膜层牢固.该研究结果表明,多层气敏薄膜可克服传统的单层薄膜选择性差、稳定性不高等缺点,对今后新型半导体材料的开发、气敏传感器结构的改进及气敏光纤传感器的应用提供了有价值的参考.
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