本论文将王水系蚀刻液应用到质量异常的TFT玻璃的重工工艺中。主要研究目的有:以实际生产体系为平台,分析研究王水系蚀刻液在TFT重工中的相关影响因素、蚀刻效果及蚀刻机理。在此基础上,全面分析王水系蚀刻液在TFT重工中应用的可行性,并进一步为王水系蚀刻液在TFT重工中的应用及相关研究提供数据和理论指导。研究结果表明:当两个酸洗灌灌满酸液以后,王水蚀刻液的蚀刻速率马上快速提升至818.1?/min,并可将800?/min的蚀刻速率保持近9天,说明在酸量保持稳定的条件下,王水蚀刻液的蚀刻速率是相当稳定的;考虑到保持生产过程的稳定和成本,王水蚀刻液蚀刻过程的最佳温度为45℃,操作时间为438s,总体生产良率可保持在96%;以江阴润玛公司和欣谷微公司所产的王水蚀刻液均得到了较好蚀刻效果,全部30个样品表面都很均一,无残留膜的存在,均可以达到合格的标准;在小量试验的条件下,最佳的蚀刻运行条件对于两个公司所产的王水蚀刻液均适用;无论哪种形态的残余,两种王水蚀刻液的结果并无差异,保持的高度的一致性。所有样品的表面均无ITO残留,且两种王水蚀刻液均可达到此结果;最佳条件可适用于所有王水蚀刻液,两者均可达到良好的生产效果。本论文的研究结果预期可降低TFT-LCD产品生产过程中的资源消耗,提高TFT-LCD产品生产过程的环境经济性,有效促进TFT-LCD产品生产工艺的革新进程,明显降低TFT-LCD产品的生产成本,在国际国内市场上,综合提高我国TFT-LCD产品的竞争力。