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将左手材料和结构应用于太赫兹波段的辐射探测,是目前世界上的一个热门研究主题。左手材料是一种人工复合材料,由于对某些频段的电磁波束呈现负的介电常数和磁导率而呈现特殊电磁物性。太赫兹(频率:0.1~10THz)技术同样也是目前的一个热门研究领域,太赫兹成像探测具有成像频带宽,较光频更高的透射性和长程性以及较射频更高的成像分辨率等特征,在军事和民用领域有可能对成像探测技术带来新的突破性进步。一般而言,目前极端缺乏能有效响应太赫兹辐射的材料及功能架构。左手材料的出现,为解决这一问题带来了契机。 本文首先总结了国内外左手材料与太赫兹技术的发展状况,分析了新型太赫兹探测装置和设备的需求情况;然后结合左手材料与太赫兹辐射的特点,论述了将左手材料用于制作太赫兹探测器的可能性。以典型的左手材料单元结构为原型,根据其在太赫兹波段的响应情况,将其等效为LC振荡电路,分析了该结构共振时的特征,并提出了一种利用此电响应的左手材料结构设计太赫兹感应器的思路;通过理论分析、建模和仿真,确立了一种太赫兹探测器的架构模型以及感应信号提取电路;根据此架构模型设计了光刻版图并制作了样片。此外,还设计了多种电响应左手材料单元结构,以增加探测器感应阵列图案的多样性。最后搭建了器件测试平台。 本文共包含五个章节。第一章为绪论,主要陈述当前左手材料和太赫兹探测技术各自的发展情况,以及左手材料在太赫兹领域的应用发展状况。第二章主要涉及左手材料太赫兹探测器的理论基础。首先总结了现有太赫兹探测设备的优缺点,然后分析了左手材料的原理及其特性,最后讨论了左手材料用于太赫兹探测的可能性。第三章给出了太赫兹探测架构的建模与仿真。首先以典型的电响应左手材料为例,分析其在太赫兹波段的共振响应特点。然后依据此左手材料结构,建立了用于太赫兹感应的单元结构的模型,并通过仿真验证推论的正确性与可行性。第四章主要涉及左手材料太赫兹感应架构的版图设计与结构设计,详细论述了版图设计与制作过程以及所涉及的工艺,给出了所制作的探测器阵列的显微情况,并为器件测试搭建了测试平台。第五章为结论与展望。首先总结了本文在设计太赫兹探测器过程中的收获,以及创新点,最后展望了左手材料太赫兹探测器的发展前景。