近年来，半导体制造业的飞速发展，给半导体企业带来了相当大的挑战性。为了有效的提高生产率、降低成本，充分利用现有资源提高企业竞争力，以半导体制造为代表的可重入生产系统的调度问题已成为研究的热点。由于可重入生产系统高度的重入性、复杂性、不确定性等特点，常规的方法难以取得良好的优化调度效果，采用一种新的方法对其调度问题进行研究显得十分必要。针对可重入生产系统的上述特点，本文采用面向对象技术与层次Petri网结合的方式建模，并运用遗传算法对调度问题进行求解。本文的主要工作如下：(1)详细描述了国内外学者对可重入生产系统的建模方法和调度策略的研究现状，分析并讨论了各自的优缺点，给出了研究可重入生产系统调度问题的理论和实际意义。(2)采用面向对象技术与层次Petri网结合的建模方法，引入时间、颜色等变量对半导体生产线进行建模，从路径调度和工件调度两个角度对生产系统进行分析。在路径调度中，用Petri网模拟了系统资源的运输方式；在工件调度中，根据生产系统的流程，首先将加工过程分为若干个模块，将各模块封装起来，阐述了各模块之间的消息调用机制，建立了宏观模型；再根据各模块的具体功能，用Petri网对模块内部的运行方式进行微观层次上的建模。采用此种方式建模，有效地降低了建模的复杂程度，增强了模型的柔性。之后，对所建模型进行了分析，证明了其正确性和有效性。(3)针对所建立的模型，采用遗传算法对其调度问题进行求解，根据问题的具体情况，采用二进制编码方式，运用C++语言对种群的选择、交叉、变异等过程进行编程，通过实例仿真比较了常规调度方法和遗传算法求解的调度方法在系统性能上的差异，验证了遗传算法求解调度问题的有效性。