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随着对MEMS功能要求的越来越高，同时为了降低制作成本，往往通过微装配技术来实现复杂的MEMS系统。在微装配系统中，为了完成对微器件的形状检测与定位识别，并能够实时监控装配过程，系统必须具有实时高精度位置反馈环节。面向微装配的机器视觉系统，可以通过图像处理技术实现实时精密检测，为实现高精度的微装配操作提供了前提和保证。 本论文主要研究微装配系统中的机器视觉技术，设计面向微装配的DSP图像采集与处理系统，实现对微器件的实时检测定位以及网络视频监控。论文主要分为系统硬件设计、系统软件设计以及实验测试三部分。 根据微装配机器视觉系统处理数据量大和要求实时性强的特点，本文以TMS320DM642为核心处理器，结合现场可编程门阵列FPGA，设计了面向微装配的DSP图像采集与处理硬件系统。并且针对图像采集中的水纹波和边缘锯齿现象，提出了改进方案。为了实现微装配视频实时监控，设计了以太网接口，建立基于DSP与PC机的嵌入式网络。为了对微操作装置的反馈控制，设计了串行接口与多路并行输入输出接口。 为了实现对微器件的检测定位以及PC机实时监控，本文进行了系统软件设计，重点提出了一种基于DSP平台的微器件形状检测和定位识别算法。首先，基于FPGA完成图像采集控制以及图像预处理的功能；然后，基于DM642处理器实现微器件检测定位的核心算法，并对算法程序进行了代码优化。另外，本文设计了基于TCP/IP协议和GDI技术的微装配视频监控软件，由PC机对微装配过程进行实时视频监控。 最后，本文对硬件改进方案、系统整体功能以及软件优化效果进行了实验测试。首先对硬件改进方案进行对比实验，结果表明可以有效地消除水纹波噪声和边缘锯齿现象。然后对面向微装配的DSP图像采集与处理系统进行了实验测试，满足微装配系统功能要求，同时验证了微器件检测定位算法的可行性与有效性。最后对基于TMS320DM642的程序优化效果进行了测试，取得了较理想的效果。