随着航空、航天、军工、真空紫外光刻、微细加工和大规模集成电路等领域的快速发展，软X射线和极紫外光谱的绝对标准计量变得越来越重要。利用同步辐射光源光谱宽广连续的特点进行极紫外光辐射计量标准的研究和建立，在当前也是国际上研究的热点问题和前沿问题。国家同步辐射实验室二期工程中建立的光谱辐射标准及计量光束线和实验站是我国第一条专用软X射线和极紫外光谱计量的光束线和实验站。本论文概述了合肥光源光谱辐射标准和计量光束线的光学结构和实验站现有的设备等。给出了计量线0.6米长真空差分系统和用于软x射线光束线定标的小型气体电离室的研制结果，并利用透射光栅对计量线SGM分支的高次谐波进行了定量研究并研究了Zr、Si₃N₄、Al等滤片对高次谐波的抑制作用。论文工作和创新之处包括： 1) 成功研制了既能满足同步辐射光通过又能在有限的0.6米空间内产生四个量级压力差的真空差分系统。保证了计量线的顺利安装调试，保证了二期工程顺利通过国家验收。在光谱辐射标准和计量光束线的安装调试过程中，遇到了委托上海真空泵厂研制的、用于连接计量光束线和实验站的差分泵验收指标不合格问题。真空差分泵在国内的真空市场上没有产品，国外订货不光是价格昂贵、到货周期长而且也没有满足我们使用特点的现成的产品。为此我们自行研制了现在已经在线使用的0.6米长的真空差分系统。 2) 成功研制了小型稀有气体电离室探测器，为软X射线和极紫外光束线的顺利调试提供了有力的技术保证。国家同步辐射实验室二期工程共建有八条光束线，其中计量线、表面物理光束线和软X射线磁性圆二色光束线在光束线的调试过程中都需要用电离室来帮助调试并以此来定标光束线单色器的分辨本领和能点。研制电离室的关键在于电离室的膜窗。要求所用的膜窗材料既要能透软X射线和真空紫外光谱又要能承受100Pa的压力，因为电离室是工作在充气状态而与之连接的光束线是在超高真空环境。为此采用了Si₃N₄膜做隔离窗。 3) 对计量线SGM分支的高次谐波进行了系统的定量研究。通过分段研究，得到了如下结果：在5-12nm波段，即使不用任何滤片高次谐波的信号强度小于1.4％。有Zr滤片滤波时可认为高次谐波占基波的比例为零。在12-34nm选用200nm