微细电火花线切割（Micro-WEDM）是一种高效率、高精度、方便灵活的微细加工技术。该方法工件与工具不存在物理接触，因此不受材料物理属性制约，可处理多种材料，在金属及其合金材料的Micro/Meso尺度下的微小零件、局部具有微结构的特殊构件、微刀具和微模具等加工领域具有十分广阔的应用空间。本课题拓展微细线切割加工传统窄缝、窄槽和复杂直纹可展曲面的范畴，探索微细电火花线切割加工微小回转结构，研究电极丝微细化、工件回转所引起的加工精度与稳定性等工艺问题，实现复杂回转体微结构的低成本、高精度的可控加工。本文在分析微细线切割加工回转结构工艺过程基础上，搭建了循环往复走丝微细线切割回转结构加工系统，该加工系统集成了块电极电火花磨削（BEDG）及微细线切割回转加工，基于该系统进行了加工回转槽和加工圆柱的基础实验，利用单因素法研究了电参数、电极丝张力、进给速度、工件转速对于回转槽宽度的影响，以及进给速度、工件转速对于圆柱加工的材料去除率和表面质量的影响。将多次切割方法引入微细线切割加工回转结构中，验证了多次切割可以有效地加工简单圆柱面和复杂回转曲面。着重研究了多次切割中最后一次精加工的加工方法，开展了低电压回转结构精加工和负极性回转结构精加工的研究，利用扫描电子显微镜（SEM）和激光共聚焦显微镜（LSCM）对加工表面形貌和表面粗糙度进行了表征和检测，并比较了两种精加工的材料去除率。同时，还分析了当前机床伺服检测以及电极丝稳定性制约低电压精加工的问题。基于前面的工作基础，仅利用粗、精两步工序实现了微细球头探针和回转尖角两种典型回转结构的可控加工。分别探讨了粗、精加工不同的冲液策略和电极丝进给速度对球头探针结构加工的影响，最终加工出球头直径97.6μm的球头探针结构，球头表面近无加工缺陷。另外，通过实验研究，获得适于回转尖角结构粗加工的工件转速5000r/min及电极丝偏置距离7μm，在2N的电极丝张力下进行精加工，最终加工出圆角半径1μm左右的回转尖角结构，还加工出一种复杂曲面回转结构及长度1.9mm，具有大长径比的波纹管芯模结构，验证了该工艺广泛的适用性。