桥式柔顺微定位平台的设计、优化与实验研究

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微纳米尺度的精密定位与跟踪技术是精密加工、半导体制备、信息存储以及生物医学工程等众多领域的关键技术之一。压电陶瓷驱动的柔顺微定位平台,以其运动精度高、响应速度快等优点,成为目前国内外研究和关注的重点。然而由于压电陶瓷直接输出位移较小,在相关领域的应用受到一定的限制。本论文分析了柔性铰链的变形机理和几种微位移放大机构的工作机理,设计了一种基于桥式放大机构的改进型柔顺微定位平台,对压电陶瓷驱动器的输出位移加以放大来增大微定位平台的工作行程。针对该微定位平台,开展了结构设计、理论建模、有限元仿真、参数优化
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