【摘 要】
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随着光纤通信和光纤到户的发展以及数字化、信息化社会的来临,人们对光电子器件也提出了更高的要求,如可调谐滤波器、可调谐色散补偿器、可控的光任意波形发生器等。这些器件的关键技术在于能够对其光谱响应进行动态调谐。研究低成本、小型化、光谱响应可动态调谐功能的器件,对未来光通信向高速、大容量和智能化方向发展起着关键作用。光栅作为一种常用的光滤波器,其光谱响应特性是由其本身的材料性质及折射率分布决定的。理论上
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随着光纤通信和光纤到户的发展以及数字化、信息化社会的来临,人们对光电子器件也提出了更高的要求,如可调谐滤波器、可调谐色散补偿器、可控的光任意波形发生器等。这些器件的关键技术在于能够对其光谱响应进行动态调谐。研究低成本、小型化、光谱响应可动态调谐功能的器件,对未来光通信向高速、大容量和智能化方向发展起着关键作用。光栅作为一种常用的光滤波器,其光谱响应特性是由其本身的材料性质及折射率分布决定的。理论上,通过改变光栅的折射率调制的幅度、周期和相位的分布,可以产生不同滤波特性(方形顶部、陡峭边、低旁瓣、平坦色散)的光谱响应。以铌酸锂晶体为基底制作的波导光栅,因其较大的电光系数,调谐速度快,热稳定性好,成本低廉等优势,故得到了广泛研究及应用。因此,探索和研究基于铌酸锂波导光栅的可调谐光滤波器,将具有重要的理论意义和实用价值。本文的主要工作如下:1、提出一种长周期波导光栅制备方法,该方法利用图案化的长周期光栅振幅掩膜板,结合光刻和退火质子交换波导制备工艺,在x切铌酸锂基底上制备长周期波导光栅。仿真分析了长周期波导光栅的光栅长度、波导宽度差和光栅周期对其光谱特性的影响。设计了长周期波导光栅的振幅掩膜板,阐述了APE工艺制备波导及波导光栅的流程,制备出实验用波导及长周期波导光栅,并进行了光谱测量。2、以均匀相移长周期光栅为基础,利用铌酸锂晶体的电光效应,设计并制备出电压调谐的波导光栅滤波器。在利用APE工艺制备的长周期波导光栅样品上,利用溅射法在长周期波导光栅两侧溅射金电极,通过改变施加电场的大小,实现了滤波器对波长、幅度以及透射率的调谐。3、分析了级联长周期波导光栅的干涉光谱特性,提出利用铌酸锂晶体的电光效应,实现可调谐梳状滤波器的设想。根据铌酸锂晶体的光折变效应,利用振幅掩模版在钛扩散铌酸锂波导上进行了长周期波导光栅光刻实验制备,得到了初步实验结果。
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