近年来半导体制造业在全球范围发展迅速。但是半导体极其复杂的制造过程导致了较高的行业壁垒和制造成本。制造过程中需要牵涉到上百道工序和许多关键核心设备,其中就包括了自动组合装置。自动组合装置是半导体制造过程中的关键设备,往往也是瓶颈设备。对其进行迅速而直观的量化分析对提高半导体生产效率和制造成本的预测均有着重大意义。而获得一个合理的分析结果的关键在于为自动组合装置建立合适的模型。该模型必须合理而简洁,能够客观反映自动组合装置运行的物理过程和状态,模拟晶圆走向并且通过仿真获得晶圆运行各状态下的时间信息。所有的仿真过程能够图形化的显示出来,以便直观的了解各单位在每个步骤的实时运行状态。有色赋时佩特里网的出现使其成为解决此类建模问题的有效途径。佩特里网本身能用以对离散事件系统进行模型建立,而其拓展集有色赋时佩特里网能够支持类似面向对象的特性,使得原来庞大复杂的网络变得简洁而模块化。函数功能的引入让网络能够实现更多更复杂的应用。赋时特性能够精确的描述不同事件发生的先后顺序,让精确模拟实际的物理系统成为可能。