【摘 要】
：
该文作者采用射频反应溅射方法制备CN薄膜.系统地研究了溅射条件(溅射气体、溅射功率、衬底材料、衬底温主工、衬底偏压等)对沉积CN薄膜的沉积速率、薄膜中氮原子浓度、薄膜
论文部分内容阅读
该文作者采用射频反应溅射方法制备CN<,X>薄膜.系统地研究了溅射条件(溅射气体、溅射功率、衬底材料、衬底温主工、衬底偏压等)对沉积CN<,X>薄膜的沉积速率、薄膜中氮原子浓度、薄膜的微观结构及物理性质的影响.得到了用射频频溅射方法制备高含量氮CN<,X>薄膜的优化条件:6-8Pa的加氮气(N<,2>),不加或少加保护气体氩气(Ar),200W左右的溅射功率,尽可能低的衬温度和对衬底不加负偏压.在优化条件附近, 均能制备出表面光滑,与衬底附着良好的高含氮CN<,X>薄膜,薄膜的生长速率达到最大值50.3nm/min;薄膜中的氮原子浓度达到0.41,局部最大氮原子浓度达0.47.
其他文献
目的:研究分析高压氧联合拉贝洛尔治疗妊娠期高血压患者的疗效及其对血管内皮功能和母婴结局的影响.方法:在我院于2017年10月～2019年8月收治的妊娠期高血压患者中,选取84例作
模具型腔的加工关系着模具和成形产品的质量,模具深型腔的加工尤其如此。采用超塑挤压方式成形模具型腔则回避了通常加工方式的不足,具有以下优势: (1)成形过程中金属的流
短碳纤维增强树脂基复合材料凭借其优异的力学性能，在国民工业各领域得到广泛地应用。然而纤维与树脂基体间的较弱界面结合和纤维应力集中现象却限制了其进一步的发展。研究者
老漂,是指那些为支持儿女事业、照顾第三代而离乡背井,来到子女工作的大城市生活的老年人.年轻一代的漂泊造就了这个群体的迁徙,也造就了他们复杂的心理:希望融入城市又止不
我国硼矿资源较丰富,绝大多数分布在东北和西部地区的辽、吉、青、藏四省区,主要为硼镁矿和硼铁矿,其中辽宁省硼铁矿约占我国硼矿资源总储量的58%。硼铁矿组成复杂、多元素共生、处理难度较大,尚未得到较好的开发与利用。硼精矿是硼铁矿磁-重选分离后的产品,经焙烧后基本可满足硼工业生产要求,但目前我国对低品位硼矿资源的焙烧装置落后,废气外排,导致硼回收率低并造成了资源浪费与环境污染。微波是一种较新的能源,具有