铝合金等离子体基离子注入氮钛碳层结构及摩擦学特性

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该文利用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术在铝合金注氮的基础上进行了7种模式的复合离子注入:(1)注钛;(2)注氮、钛;(3)注钛+注氮、钛;(4)注碳;(5)注钛+注碳;(6)注氮、钛+注碳;(7)注钛+注氮、钛+注碳.并对每种模式所形成的改性层的成分浓度分布、化学态、组织结构及摩擦学特性进行了系统研究.
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