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科学技术的发展,MEMS加工制造技术的进步,使得航空航天、生物医学以及精细化学等领域对于微流体传输有了更高的要求,这极大地促进了微泵的发展。以压电材料为驱动部件的压电作动型微泵,具有响应迅速、能量密度大、集成度高和无电磁干扰等特点,得到了国内外众多研究学者的关注。因此,在微化学混合、燃料电池、生物检测、胰岛素注入等领域均有着广泛的应用前景。作为有阀压电泵的核心部件,单向起止阀的可靠性对于整个压电泵的寿命和性能有着至关重要的影响。当压电泵在运行时,单向起止阀的频繁往复运动容易使阀体产生疲劳损伤,且传统