传感器技术是现代科学技术中,快速发展的一种高新技术,受到各界学者的关注。而声表面波压力传感器由于分辨率和测试精度较高、工艺制作先进、适合批量生产等优势,在传感器领域有极大的应用前景。本文首先介绍了ZnO单晶作为一种新型半导体材料,所具有的禁带宽、激子束缚能高、机电耦合性能良好等优点。因此,将ZnO单晶应用到声表面波传感器领域中,具有非常大的优势。其次,对表面声波的传播理论做了探讨,并且介绍了声表面波和压力传感器的原理和发展历史,通过有限元分析软件COMSOL对ZnO单晶声表面波谐振器进行建模,用有限元分析法进行模拟仿真。将声表面波谐振器的三维模型简化为2D模型,仿真结果得到了对称模态和反对称模态以及体声波,分析了SAW器件的谐振频率,分析得出了ZnO单晶的相速度v=2670.169m/s。并且得到了器件的电导和位移特性分析。接下来设计了一种ZnO单晶SAW谐振器,由5对IDT和5对声反射栅组成,研究了此SAW谐振器在无压力加载和压力加载下的频率响应和位移特性,得出了频率响应与外加压力呈现良好的负线性关系,关系式为y=162.0712-0.0149x。还讨论了ZnO单晶声表面波谐振器结构参数对谐振器工作频率的影响,结构参数主要包括IDT的高度和金属覆盖率,以及ZnO基底的厚度,对实际制作SAW谐振器,作出了一定的理论指导。