由于微加速度计在军事和民用价值方面拥有巨大的优势,所以成为各国研究机构和公司研究的热门,是目前被应用最广泛的MEMS集成传感器之一。其中高Q值结构的加速度计具有较低的机械热噪声的特点,在高精度低噪声信号检测领域被广泛应用。随着集成化、智能化、数字化技术的不断提高,高Q值Σ-Δ微加速度计电路具有非常重要的研究意义和应用价值。在过采样率相对较低的情况下,针对低阶结构的高Q值微加速度计电路性能受限于量化噪声的问题,设计了一种高阶结构的高Q值闭环Σ-Δ微加速度计电路,从而大大降低了数字电路基带内的量化噪声。通过比较分析了单反馈和分布式反馈两种拓扑结构的特点,本文采用分布式反馈。在Matlab中的simulink环境下对系统建立非理想化的行为级建模,其中包括开关噪声模型、时钟抖动、运放热噪声等模型。并对理想化的系统进行了大量的行为级仿真其目的是确定积分器的增益系数使系统的信噪比达到最佳,为后级电路设计提供基础。同时还分析了开关噪声、时钟抖动、运放噪声等非理想因素对系统性能的影响。通过对二阶和五阶系统的仿真设置非理想因素模块的参数,确保系统对噪声整形能力具有较好的效果。由于高阶系统都面临稳定性较差的问题,为了保证该高阶系统的稳定性,设计了一种前置相位补偿器电路来提高电学阻尼。利用根轨迹法分析Q值以及补偿深度?对高阶系统的稳定性性能的影响。在理论分析的基础上,设计了一种基于前置补偿器的高Q值的Σ-Δ微加速计度计系统电路,其中包括前置相位补偿电路、电荷放大器、采样保持等关键电路。在250KHz采样频率下输入信号幅度为-7.56dBFS,频率为61.035Hz,带宽为1KHz,信噪比达到了108dB。仿真结果表明,该高Q值高阶结构系统稳定,相对于二阶结构而言对量化噪声的抑制能力大大提高,完成了预期的设计目标。