【摘 要】
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在生物医学、汽车、航空航天、半导体和电子器件领域,微系统都起到了重要作用。电火花加工(electric discharge machining,简称EDM)能够在任何导电材料上产生微观结构,而不用考虑它材料的特性。然而,工具电极的磨损却一直是阻碍着微细电火花加工在实际工业领域应用的一大壁垒。为了改善电极的损耗,本研究提出了一种由芯部和包层组成的复合电极。采用田口法设计了锌铜复合电极的实验基体。为了
【基金项目】
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National Science Foundation of china, No 51975370;
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在生物医学、汽车、航空航天、半导体和电子器件领域,微系统都起到了重要作用。电火花加工(electric discharge machining,简称EDM)能够在任何导电材料上产生微观结构,而不用考虑它材料的特性。然而,工具电极的磨损却一直是阻碍着微细电火花加工在实际工业领域应用的一大壁垒。为了改善电极的损耗,本研究提出了一种由芯部和包层组成的复合电极。采用田口法设计了锌铜复合电极的实验基体。为了探讨电参数对组合刀具形状的影响,选择了四种不同的峰值电流和脉冲宽度。同时,对铜镀层厚度、锌芯板厚度、芯板与镀层之间的间隙等非电参数选择了两种不同的水平。根据参数的数量和相应的级别使用L16的正交数组。每次试验重复三次,以消除数据的不确定性。因此,共进行了48次试验,并仔细记录了每次实验的响应数据。数据分析采用田口分析、方差分析等统计工具。结果表明,除脉宽外,其它电参数对复合电极的侧磨损均有显著影响。而磨损长度之间的差异并不取决于堆芯包层板之间的间隙。因此,在铜作为芯材和包层材料的情况下,对芯包层板间距、包层板厚度和包层板厚度进行了多层次的单因素实验。在单因素实验中,利用方差分析模型只研究了一个因素,并比较了不同水平的响应均值。结果表明,减小板间间隙可显著降低侧面磨损,但对磨损长度的差异无影响。降低覆层板的厚度可以降低侧磨,但其最佳值取决于芯材的厚度和材质。此外,使用铜锌复合电极时,侧面的磨损将进一步降低。因此,使用这种类型的组合电极,并且使得极板之间的间隙尽可能地缩小,那么电极的侧面磨损在微观水平上会得到显著降低,能极大地降低成本。
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