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目前,信息、航空航天、先进制造、生物等高新技术领域的微型化趋势推动了-批高性能微机电系统(MEMS)的出现。然而,摩擦学问题是影响硅基MEMS长期可靠服役的重要因素,例如在潮湿环境中的运行部件由于接触表面的黏着和摩擦磨损极易发生失效。除了传统的涂层防护和液体润滑外,研究发现酒精蒸汽防护能够有效阻止硅基运动部件磨损失效,从而延长MEMS运行寿命。该方法具有成本低,不受基体部件复杂结构限制等优点,因此有望实现在动态MEMS中的广泛应用。酒精蒸汽防护的机理源于酒精分子吸附膜持续对单晶硅基体的保护。然而此过