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随着微机电技术的发展,对微、纳尺度微细结构的加工技术提出了更高要求。机械刻划加工技术可灵活方便地实现微细结构的加工,成为近年来研究的热点。本文对机械刻划加工中探针与材料间的摩擦特性进行研究,揭示材料去除与微结构成形的机理,对机械刻划加工工艺的优化,具有重要意义。本文通过实验与仿真相结合的方法,研究了纳米尺度下的黏着力变化规律;建立了微纳刻划过程摩擦系数计算模型,通过对实验结果的分析,将机械刻划加工中的摩擦区分为界面主导摩擦与耕犁主导摩擦两种类型;利用分子动力学仿真,从原子角度对刻划机理进行仿真研究;