氧化物透明导电薄膜的溶胶—凝胶法制备

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【摘要】

：

氧化物透明导电薄膜由于具有优良的光学及电学性能，在液晶显示、透明电极、防静电涂层、太阳能电池等光电领域有十分广泛的应用。目前这类薄膜的制作大多采用磁控溅射法，但这一技术在许多方面难以适应当代光电技术发展的需要，如大屏显示器件用透明导电基板、显示器件防静电涂层等，因而这类透明导电薄膜的溶胶-凝胶制备技术引起了人们极大的关注。本文以金属无机盐为出发原料，利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel method)

【作者】

：

张兴旺

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2002年03期

【关键词】

：

二氧化锡铟锡氧化物溶胶-凝胶法透明导电薄膜光学与电学性能

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