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流体中的声场会对声速和密度不同于流体的悬浮颗粒产生辐射力,控制流体中的辐射力分布能使颗粒移动到特定位置,因此超声波可以作为一种物理方法来分离流体中的悬浮颗粒。由于微机电系统(MEMS)的结构特点,很多常规的分离方法和设备受到了各种的限制,而超声分离方法却由于非接触、遥操控分离的特点,在微流体中具有极大的潜在应用价值,受到越来越多人们的关注。MEMS超声分离器是利用超声辐射力来控制和移动微流体中悬浮颗粒从而实现流粒分离的装置,可以直接应用在各种经流型的分离过程中。本文根据微分离器的多层谐振结