随着网络数据的迅速增长，人们对宽带的需求越来越迫切。为了适应这一需求，“宽带中国”国家战略已经进入实施阶段，光纤接入是实现“宽带中国”战略的基础，光分配节点是光纤接入网络的重要组成部分，而平面光波导分路器是其最重要的器件之一。分路器市场需要量日益增长，已经成为光通信产业的热点之一。本文主要内容包括：(1)通过Rsoft软件对分路器结构进行模拟。分析了损耗的影响因素，研究了直波导的插入损耗与波导结构的关系，并优化了级联直波导的长度。1×4分路器采用级联式，弯曲波导采用余弦S弯曲，过渡区采用矩形过渡波导结构，仿真结果表明该分路器插入损耗为6.77dB，均匀性为0.099dB。(2)研究了二氧化硅光波导制作工艺。采用等离子体化学气相沉积（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Depo）tion，PECVD）生长二氧化硅薄膜，研究了等离子体化学气相沉积和掺杂的工艺参数对二氧化硅薄膜生长速率、折射率和应力的影响；采用光刻和刻蚀制作了二氧化硅波导结构，优化了石英基二氧化硅波导光刻工艺，并且研究了电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma，ICP）的工艺参数对二氧化硅薄膜刻蚀速率的影响；采用退火炉对二氧化硅波导进行退火处理，研究了退火对二氧化硅薄膜性能的影响，优化了退火工艺。采用了X射线衍射仪、扫描电镜、原子力显微镜、傅里叶红外光谱仪和台阶仪表征二氧化硅薄膜性能。(3)研究了分路器芯片的研磨，搭建了分路器测试系统。通过采用紫外固化胶把芯片和载玻片粘合，并采用自行设计的研磨夹具进行芯片的研磨，解决了芯片研磨过程中容易发生端面崩边的问题；采用自行设计的芯片夹具和光纤阵列夹具，搭建了光纤-波导对准系统。