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抑制光生载流子的复合，提高TiO2的光催化效率，制备出既具有良好的亲水特性又具有高光催化活性的薄膜型复合光催化剂已成为近年来光催化环境净化领域的研究热点之一。
本论文分别采用直流反应磁控溅射（DMS）和能量过滤磁控溅射（EFDMS）技术，以玻璃为衬底制备了TiO2薄膜和纳米TiO2/ITO复合薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、紫外-可见分光光度计（UV-Vis）、椭偏光谱仪（VASE型）和静滴接触仪等手段研究了薄膜的微结构、表面形貌、透过率及光致亲水特性，并通过降解罗丹明B的水溶液对纳米TiO2薄膜的光催化性能进行了初步研究，取得了如下结果：
（1）采用直流反应磁控溅射技术在衬底温度200℃，溅射功率为260W，溅射压强为0.75Pa，氧气和氩气的流量比为1/6条件下制备的TiO2薄膜样品具有良好的亲水性；
（2）ITO层的存在抑制了光生载流子的复合，使得TiO2/ITO复合薄膜水的初始接触角（22°）比单层TiO2薄膜的初始接触角（41°）明显降低，并在紫外光照射30min后接近0°。TiO2/ITO复合薄膜的亲水性较单层TiO2薄膜有显著提高；
（3）能量过滤磁控溅射技术制备的TiO2薄膜薄膜表面平整，晶粒尺寸减小至10nm左右，量子尺寸效应使得薄膜的吸收限波长“蓝移”至320nm；纳米TiO2/ITO复合薄膜在可见光波段的透过率下降至60％左右，较TiO2薄膜的80％显著降低，使薄膜亲水性能显著增强。
（4）能量过滤磁控溅射技术沉积的TiO2薄膜晶粒细化，使光生载流子量子产率提高、带隙变宽，薄膜具有更强的氧化和还原能力，光催化性能得到改善。