本文论述了集成电路失效分析的方法,并针对不同类型的电路给出了具体的分析实例。文章内容主要分为三部分,第一部分包含第一到第四章,主要讲述集成电路失效分析所必备的基本知识。包括:主要失效模式和机理、分析设备和分析流程。第二部分和第三部分是文章的核心内容,分别讲述了存储器电路和混合信号电路的分析方法。文章的主要目的是总结以存储器电路为代表的数字电路的常用分析方法,并在此基础上探索了数模混合电路的分析方法,透析两种不同电路的差别给分析过程上带来的挑战。对于存储器电路的研究主要是通过笔者所作的几十个案例,从中将失效模式和失效机理的规律性联系总结出来,提出较为科学的分析流程并以具体实例加以说明,目的在于提高分析这种类型电路的效率。对于混合信号电路,文章以模数转换器ADC为例,探索了基于数字电路分析仪器的分析思路,指出了对电路功能理解和借助微探针技术的电路分析方法,并给出了一个具体案例的分析过程,目的在于提高分析这种类型电路的成功率。实际工作的效果证明,论文所作的研究工作可以有效地提高存储器电路的分析效率,能够给人科学的预见性;并且在混合电路分析上也积累了丰富的数据,可以在实际的工作中起到指导作用。