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生物医学、材料、MEMS等多个领域广泛需要微小静动态力值的测量,为保证其测量精度和准确性,微小力值传感器的标定就显的至关重要。本论文通过对国内外研究成果进行分析,对相关理论进行介绍,建立实现uN级静态力值与动态力值测量的计量体系。分别搭建实现微小静态力值传感器标定和微小动态力值传感器标定的实验装置,并完成上位机界面控制程序编写。最后应用已标定的传感器进行实际实验,实验表明标定方案和搭建的测量装置可行。本论文主要研究工作如下:1、对国内外微纳力值计量与溯源装置进行了深入的对比研究,尤其对微小动态力值计量装置进行了深入分析,初步确定了本课题实现微小力值传感器标定的方案。2、实现了弹性敏感元件在Comsol Multiphysics中的仿真研究,对其刚度以及模态进行了仿真研究,并将实验室所设计的各种弹性元件性能进行对比。3、完成了标定静态力传感器的装置搭建。对装置硬件组成以及人机交互控制界面进行介绍,为后续力值传递打下基础。4、完成微悬臂梁刚度标定的不确定度分析,对地面振动、空气扰动,激光干涉仪位移误差、纳米微动台位移误差,铰链刚度以及悬臂梁自身制造误差等可能影响实验结果的因素进行分析,最终确定微悬臂梁法刚度标定的相对不确定度小于5%,满足目标要求。5、完成微小动态力传感器的选型。选用PVDF压电传感器,对PVDF信号采集电路各部分进行介绍,包括电荷放大电路、高低通滤波电路以及电压放大电路。6、完成了动态力传感器标定装置的搭建。对装置硬件组成以及人机交互控制界面进行介绍,实现了PVDF压电薄膜刚度的标定,其标定不确定度小于4%,进行了重复性实验,标准差达到0.64%,重复性较好。7、设计基于PVDF压电薄膜的水黾脱离力的测量实验。水黾腿部由于细微刚毛的存在,使其具有超疏水性,对超疏水性理论进行介绍,采用标定好的PVDF传感器实现水黾托离水面过程中脱离力值的测量,可以得到脱离力大小为0.313uN,力值级别与理论分析相符,证明了实验的可行性。