【摘 要】
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柔性电子作为一种新兴电子技术,对产品开发具有革命性意义,受到了学术界、工业界和政府的高度关注。互连导线作为柔性电子器件的基本组成部分,其可延展性是判断器件整体拉伸性能的重要指标。因此,本文基于有限元思想对导线进行优化设计及性能分析,同时创新性地采用模板印刷法制备出可拉伸互连导线,将其应用在自供能触觉传感器上。主要内容如下:(1)以成本低、导电性好的铜作为互连导线材料,柔性基底则是选用拉伸性能优异的
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柔性电子作为一种新兴电子技术,对产品开发具有革命性意义,受到了学术界、工业界和政府的高度关注。互连导线作为柔性电子器件的基本组成部分,其可延展性是判断器件整体拉伸性能的重要指标。因此,本文基于有限元思想对导线进行优化设计及性能分析,同时创新性地采用模板印刷法制备出可拉伸互连导线,将其应用在自供能触觉传感器上。主要内容如下:(1)以成本低、导电性好的铜作为互连导线材料,柔性基底则是选用拉伸性能优异的Ecoflex00-30硅橡胶。通过单轴拉伸测试,确定Ogden为硅橡胶本构模型,得出材料参数如下:1=1.120)-2、1=2.82、2=3.360)-8、2=11、3=2.990)-2、3=-3.11。(2)设计了正弦形、矩形、U形、马蹄形四种结构的互连导线,首先通过ABAQUS模拟导线在多个拉伸率下(2%-5%)的应力分布,结果表明马蹄形的最大应力值均为最低。然后,采用模板印刷法制备出四种互连导线,并对其进行拉伸性能测试,观察到4%拉伸率下正弦形、矩形、U形三种结构的应力集中区域均呈现出不同程度的断裂,而马蹄形表面完整,未发生结构性破坏;随后对其进行电学性能测试,以四种结构在不同应变下出现电阻激增现象的节点作为判断依据,得出拉伸率分别为3%、4%、6%和9%。从模拟和实验两方面综合得出,马蹄形互连导线相对于其他三种结构来说具有最佳拉伸性能。(3)模拟研究马蹄形互连导线和柔性基底的形状、材料对导线承受预拉伸能力的影响。结果表明导线承受预拉伸的能力与半径、角度、材料的弹性模量呈正相关,与导线宽度、厚度呈负相关。当柔性基底的厚度远大于互连导线厚度时,导线承受预拉伸的能力不受影响。此外,基底弹性模量越小,导线所能承受的最大预拉伸量越大。综合仿真结果发现,在柔性基底中引入14%的拉伸应变,对提高导线拉伸性方面效果最佳。(4)分别研究了预拉伸、烘干时间、马蹄形互连导线和柔性基底的形状、材料对导线拉伸性能的影响。结果表明:烘干时间(15-60min)能够有效提高导线的拉伸率(4%-9%)。对基底施加14%拉伸应变后,60min烘干时间下互连导线的拉伸率从9%增加到20%。此外,马蹄形互连导线和柔性基底关键参数对导线拉伸率的影响与其对导线承受预拉伸能力的影响相同。(5)测试了马蹄形互连导线在拉伸、弯折、扭曲状态下的电学性能,发现其具有良好的抗干扰性。使用拉伸试验机对马蹄形互连导线进行疲劳测试,结果表明其抗拉伸性良好。将导线与基于摩擦起电原理的自供能触觉传感器相结合,在不同弯折角度下,传感器的输出电压稳定在13.0V左右。实验结果表明,马蹄形互连导线能够有效减小传感器形变对输出信号的影响,提高传感器的稳定性。
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