单晶锗二维转鼓的加工工艺及检测方法研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chrisjane
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
目前光学探测器被广泛的应用在各个领域,随着科技的快速发展其需求量也逐渐增加,单晶锗二维转鼓作为光学探测器中的核心元件,由于其不规则性及晶体特殊性,制约着光学探测器普遍使用的前提,因此高效生产满足各项技术指标要求的二维转鼓是超精密加工及检测的关键问题。单晶锗属于脆性材料,具有高脆性、易碎、硬度高、断裂韧性低和各向异性的特征,传统的加工方法很难保证转鼓各折射面的面形精度及表面质量,必须要釆用超精密加工技术,通过控制切削工艺参数实现脆塑转变,从而使材料以塑性域切削方式去除。确定一套最佳的单晶锗二维转鼓超精密加工工艺及寻找一种合理有效的检测方法至关重要。本文基于单晶锗二维转鼓的不规则性和晶体的各向异性特征,通过脆塑转变切削厚度和最小切削厚度,确定塑性域切削条件,确定{100}晶面、{110}晶面及{111}晶面脆塑转变临界切削厚度分布规律,建立单晶锗超精密加工刀具刃口切削力模型,分析切削过程中的关键影响因素。建立单晶锗超精密切削的正交切削模型,分析切削参数和刀具参数的变化对单晶锗切削过程中水平切削力和径向切削力及切屑形态的影响规律,判断脆塑转变临界切削厚度及最小切削厚度与刀具刃口钝圆半径的关系,研究{100}晶面、{110}晶面及{111}晶面对切削过程中切削力的影响规律。通过{110}晶面不同切削工艺参数的飞切试验,分析不同加工工艺参数对加工表面质量的影响规律,对飞切工艺参数进行优化,从而获得一套最佳的转鼓飞切工艺参数。基于二维转鼓角度检测方法,设计并搭建转鼓测角平台测量系统,该检测方法可实现转鼓二维角度的一体化测量,最终形成具有加工工艺及检测方法的完整性系统。
其他文献
在人们生活水平不断提高的同时,人们对生态环境质量提出更高的要求,这些年环境污染问题已经逐渐成为制约人们可持续发展的主要问题。因此在环境艺术设计中,设计者要认识到生
编辑部收到上海市嘉定县计委沼办朱顺兴、山东省乳山县午极公社上万口大队王茂林等同志来信,要求介绍圆形水压式沼气池的设计和施工要点。我们请农牧渔业部成都沼气科学研究
随着网络技术的不断更新与发展,计算机的使用,不仅有效的改变了人们的生活方式,而且还给网络使用安全提出了新的挑战。而随着计算机使用的日益普及,人们更加注重数据信息的隐
<正>高等师范院校《历史学科教学论》是一门应用教育理论学科,属于师范生教师教育课程,课时中几乎一半的时间是实践课时,在基础教育课程改革的大背景下,不论教与学都面临着层
<正>案情简介申请人徐某,2009年通过招聘到本市某认证有限公司从事资格认证工作,双方没有签订书面劳动合同,但该单位委托人才代理机构为申请人缴纳了自申请人入职至其申请劳
针对非视距环境下信源定位性能恶化的问题,提出了一种能时域联合的信源被动定位算法。综合利用接收信号强度和到达时间差两种测量信息,首先给出信源位置的最大似然估计;然后