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本文对飞轮齿圈形位误差光电检验机的精度进行了理论分析，依据分析的结果分配了零件的各种形位公差，并对测量结果的数据处理方法进行了研究，找到了一种在大样本空间的条件下依概率排除系统误差的数据处理方法，同时为了验证其可靠度对其进行了计算机仿真实验。本文采用虚拟仪器建立该机构的检测和控制系统，利用数据采集板Labjack、和开发平台LabVIEW等工具进行信号检测，通过采集数据、合理分析来选择有效的控制算法，达到对机构准确快速控制的目的。在计算机的软控制之下，机构在工作时具有良好的动态性能。