本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)资助。由于微等离子体的密度高、稳定性好、气体和能量耗费低且便于开发便携且廉价的微等离子体装置,因此微等离子体具有广泛的应用前景,微等离子体源也成为近年来的研究热点。而目前,基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源存在体积较大和激励的微等离子体分布不均匀等问题。本文根据微带线谐振器理论和模式耦合理论,采用HFSS仿真软件,对一种工作在2.45GHz、放电缝隙为0.1mm的基于微带谐振器的微波微等离子体双线性阵列源进行了研究,分析了相关参数对微波微等离子体双线性阵列源特性的影响。仿真研究表明,馈电点位置、阵列谐振器单元之间的间距和耦合方式、接地板尺寸等对微波微等离子体双线性阵列源的S参数、Q值和放电缝隙处的电磁场分布等有很大的影响。本文还研究了一种工作在2.45GHz、放电缝隙为0.1mmm的基于微带谐振器的微波微等离子体圆形阵列源,在单馈空间耦合、单馈耦合条耦合、双馈空间耦合和双馈耦合条耦合等四种不同结构的情况下,对微波微等离子体圆形阵列源的S参数、Q值和放电缝隙处的电磁场分布进行了研究。本文工作对较大面积和特定形状的微波微等离子体源的研究提供了一定的参考。