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本文利用超高真空离子束辅助沉积技术在Si(100)基底上设计合成ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜。利用表面轮廓仪和纳米力学测试系统研究薄膜的机械性能,包括表面硬度、弹性模量以及薄膜与基底的附着力;还通过X射线衍射(XRD),俄歇电子能谱仪(AES)和扫描电子显微镜(SEM)等分析手段研究了薄膜的结构特征。揭示多层膜体系的结构和性能以及工艺参数之间的相互关系,找出合成最佳多层膜的工艺,使多层膜体系的硬度和附着力优于单质薄膜材料。对于ZrN/TiAlN纳米多层膜体系,讨论了调