【摘 要】
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空心阴极放电是真空中放电的一种特殊形式，是一种有效的等离子体产生手段。本文主要研究了空心阴极放电规律并采用空心阴极作为等离子体源对不锈钢基体进行了氮化、注氮和
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空心阴极放电是真空中放电的一种特殊形式，是一种有效的等离子体产生手段。本文主要研究了空心阴极放电规律并采用空心阴极作为等离子体源对不锈钢基体进行了氮化、注氮和DLC沉积实验研究，系统地研究了不同负偏压、射频功率、气体流量对表面改性层硬度、相结构、耐蚀性及摩擦磨损性能的影响。
硬度分析结果表明表面改性层的硬度值得到了提高。氮化样品XRD图谱中出现了Fe4N(111)特征峰，该相是面心立方晶格结构，具有优良的机械性能。
合适的实验条件能够提高不锈钢的耐蚀性。对于氮化样品，间距40mm的样品表面腐蚀电位提高了约230mV，腐蚀电流降低了一个多数量级。较高的负偏压和功率对提高氮化样品表面的耐蚀性并无太大帮助；对于氮等离子体注入样品，电压10kV的样品表面腐蚀电位提高了约79mV，腐蚀电流降低了一个数量级，高的注入电压能够提高不锈钢表面的耐蚀性。最后对氮化样品、注氮样品和DLC样品进行摩擦磨损分析
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