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各类光电器件的关键技术指标在近10余年内得到了快速提升,相关的技术进步过程伴随着固体物理、材料科学、光电子技术以及制造技术等众多研究领域全面高速发展。透明导电薄膜作为核心材料之一,其透光及方阻特性等关键参数的不断完善一直是此领域所关注的热点问题。本文利用脉冲激光沉积法制备InGaZnO薄膜,通过对薄膜的成分、微观组织结构分析,结合相关物理性能测试,研究和分析了此体系组分以及生长条件对其各项性能尤其是红外光学性能的影响规律,旨在对进一步理解该体系出现的非晶/晶态呈现透光率及电导率变化规律的认识