随着科学技术的日新月异,在科学研究以及实际工业生产中的物理实体几何尺寸也不断地向微细领域发展,由毫米级、微米级逐步发展到纳米级。微机械(MEMS)及纳米测量技术是20世纪末发展起来的新兴高科技领域,在对微小物理实体的检测过程中必须在一个具有良好隔振性能的测量平台进行,否则任何微小的振动,如由说话的声音和人的走动所引起的振动都会对其测量结果产生影响。因此解决精密测量中振动对测量系统的干扰问题就显得格外重要。 本文通过对国内外大量文献的参考和研究,采用了主动与被动相结合的混合振动隔离系统,为微纳米测量提供一个良好的隔振环境,并进行了隔振系统被动隔振性能的测试分析与主、被动混合隔振系统的设计与仿真分析。 被动隔振系统的测试结果表明:两级被动隔振的隔振性能明显优于单级被动隔振系统;不论是两级隔振系统还是单级隔振系统,对高频的振动具有明显的隔离作用,但是对于低频振动的隔离效果明显不佳,甚至会有加剧的作用。 进行了混合隔振系统算法的研究,提出一套振动主动控制的方案,采用了先进的模糊PID控制算法,并利用MATLAB进行了仿真分析。仿真结果表明,相对于被动隔振系统,施加了主动控制的混合振动隔离系统的隔振性能得到了极大的提高。