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Mo S_2材料禁带宽度大,应用范围广,但电阻大、光电转换效率低。稀土元素铒、铕(Er、Eu)等具有丰富的电子能级。采用稀土元素掺杂硫化钼材料,将使MoS_2材料具有更丰富的电子能带结构,提高它的光吸收率和发光效率,使它可用于制备高效率的发光器件和太阳能电池。本文利用化学气相沉积法制备稀土(Er、Eu)掺杂的硫化钼薄膜,探究了稀土(Er、Eu)掺杂对硫化钼薄膜光电特性的影响。首先,本文以硫化钼和稀土硝酸盐为材料、采用化学气相沉积法在Si衬底上制备了稀土掺杂的硫化钼薄膜。利用原子力显微镜和X-射线衍射