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（Ba,Sr）TiO<,3>薄膜和（Ba,Sr）TiO<,3>/YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>异质薄膜的脉冲激光沉积制备及性能研究

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【摘要】

：

铁电钛酸锶钡薄膜具有十分优越的铁电／介电性能，在可调谐微波器件、动态存储器件，以及热释电探测器等方面具有很好的应用前景。本论文首先概括介绍了Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜的研究意义、基本结构、制备方法、各种性能特征及其表征方法，并对当前Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜研究中的几个重要前沿问题进行了详细讨论。其次，利用自行研制的RHEED系统原位监测Nb：SrTiO_3、BST、YBC

【作者】

：

【机构】

：

四川大学

【发表日期】

：

2003年05期

【关键词】

：

BST YBCO 铁电薄膜超导薄膜多层异质结构介电性能

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铁电钛酸锶钡薄膜具有十分优越的铁电／介电性能，在可调谐微波器件、动态存储器件，以及热释电探测器等方面具有很好的应用前景。本论文首先概括介绍了Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜的研究意义、基本结构、制备方法、各种性能特征及其表征方法，并对当前Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜研究中的几个重要前沿问题进行了详细讨论。其次，利用自行研制的RHEED系统原位监测Nb：SrTiO_3、BST、YBCO薄膜、以及BST／Nb：SrTiO_3薄膜的外延生长特征，利用脉冲激光沉积技术，在LaAlO_3和Mg

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