现代制造业对加工精度的要求日益提高,测量精度是影响加工精度的一个关键。平面度误差是形貌误差的一个重要的评定指标,在一些条件下,对工件的精度具有绝对的影响。目前,小平面平面度的高精度测量已经完善,其主要方法是光干涉法。大平面平面度的测量方法很多,主要有水平仪法、自准直仪法、光轴法、液面法、多测头误差分离法、表桥法及跨步仪等方法,其中能达到高精度方法并不多,因此,本文提出了一种新的基于液面法的高精度大平面平面度测量方法。与基于连通器原理的液面法不同,本文利用误差分离的方法,即用一种高粘度液体作为绝对基准,先标定出系统误差,然后将其从测量值中分离出去。该测量方法中,通过实验及模拟分析,发现影响测量精度的主要因素是温度和定位精度,本文提出了针对性的改进方法,来减小这两方面的影响,从而达到提高测量精度的目的。