【摘 要】
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针对口径Φ64mm双凸非球面透镜（曲率半径R1=549.5,K1=-1,R2=153.51,K2=-1,光学材料为k9）,进行了数控铣磨和抛光技术研究。在保证有较高面形精度和较好表面光洁度的同时,解决了
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针对口径Φ64mm双凸非球面透镜（曲率半径R1=549.5,K1=-1,R2=153.51,K2=-1,光学材料为k9）,进行了数控铣磨和抛光技术研究。在保证有较高面形精度和较好表面光洁度的同时,解决了双非球面中心偏差和中心厚度难以控制的加工技术难题。本文提出了规范性的加工工艺流程,实现了中小口径双非球面元件的高效、快速精密铣磨成型和抛光。基于由德国OptoTech ASM100CNC铣磨机和ASP200CNC-B抛光机组成的非球面数控加工中心,研究了非球面粗磨、精磨工艺,粗抛光和小抛头修抛工艺以及相关工艺参数,同时采用英国TAYLOR HOBSON轮廓仪,在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿,使被加工零件表面的面形精度逐步收敛。最终,两面的面形精度达到,第一面0.4762μm,第二面0.4869μm,均小于0.5μm,中心偏差小于0.01mm,满足了光学系统中对非球面元件的精度要求。
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