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微电子制造业是国民经济发展的基础,是国家综合制造能力和科技水平的体现。近年来,随着微电子技术、微加工微制造技术、纳米技术等微观领域的研究越来越深入,精密定位技术正面临着高速、高加速、高精度、大行程等诸多挑战。其中,微动平台作为精密定位技术的一项重要载体,其工作性能直接决定了定位系统的性能。传统微动平台的动态特性是固定的,系统的输出只需要考虑驱动信号的补偿即可,难以满足平台对动态响应的高要求。本文从机构原理和运动控制方法上进行创新,设计了一款动态特性在一定范围内连续可调的微动平台,降低了设计制造成本和